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真空泵機(jī)組常見分類及使用注意
2025-03-19
按真空度分類 低真空機(jī)組：工作壓強(qiáng)高、排氣量大，多用于真空室的粗抽以及氣體負(fù)載大、工作壓強(qiáng)高的場合，如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣等裝置中。主泵常用往復(fù)式機(jī)械泵、旋轉(zhuǎn)油封機(jī)械泵、水蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等。 高真空機(jī)組：一般由羅茨泵與旋片泵等組成，可獲得較高的真空度，適用于需要較高真空環(huán)境的工藝，如真空鍍膜、真空熱處理等。 超高真空機(jī)組：工作壓強(qiáng)在超高真空區(qū)域（<10??Torr），能承受一定氣體負(fù)載。如分子泵機(jī)組，結(jié)構(gòu)緊湊通用性強(qiáng)，易于操作和維護(hù)；還有低溫冷凝泵機(jī)組，由低溫冷凝泵及制冷機(jī)組成，無需另用液氦或液氮。 按工作方式分類 干式真空泵機(jī)組：采用干式真空泵作為主泵，如干式螺桿真空泵、多級爪式泵等，能在無油或少油的環(huán)境下工作，避免了油污染問題，適用于對真空環(huán)境要求較高、不允許有油蒸氣污染的場合，如半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)等。 濕式真空泵機(jī)組：以水環(huán)式真空泵等濕式真空泵為主泵，工作時需要使用水或其他液體作為工作介質(zhì)，可抽除含有大量水蒸氣或有腐蝕性的氣體，廣泛應(yīng)用于化工、制藥、礦山等行業(yè)。 以上內(nèi)容來自于網(wǎng)絡(luò),如有侵權(quán)聯(lián)系即刪除 |
